SCHMID, G. M., THOMPSON, E., STACEY, N., RESNICK, D. J., OLYNICK, D. L., & ANDERSON, E. H. (2007, Januar 1). Template fabrication for the 32 nm node and beyond. 84(5-8). Amsterdam: Elsevier Science, 2007. Abgerufen von http://pascal-francis.inist.fr/vibad ndex.php?action=search&terms=18807328
ISO-690 (author-date, English)SCHMID, Gerard M, THOMPSON, Ecron, STACEY, Nick, RESNICK, Douglas J, OLYNICK, Deirdre L und ANDERSON, Erik H, 2007. Template fabrication for the 32 nm node and beyond. In: [online]. Amsterdam: Elsevier Science, 2007. 1 Januar 2007. Available from: http://pascal-francis.inist.fr/vibad ndex.php?action=search&terms=18807328
Modern Language Association 9th editionSCHMID, G. M., E. THOMPSON, N. STACEY, D. J. RESNICK, D. L. OLYNICK, und E. H. ANDERSON. Template fabrication for the 32 nm node and beyond. Nr. 5-8, Amsterdam: Elsevier Science, 2007., 2007, http://pascal-francis.inist.fr/vibad ndex.php?action=search&terms=18807328.
Mohr Siebeck - Recht (Deutsch - Österreich)Emerald - Harvard
SCHMID, G.M., THOMPSON, E., STACEY, N., RESNICK, D.J., OLYNICK, D.L. und ANDERSON, E.H. (2007), „Template fabrication for the 32 nm node and beyond“, in , Bd. 84, Amsterdam: Elsevier Science, 2007., verfügbar unter: http://pascal-francis.inist.fr/vibad ndex.php?action=search&terms=18807328.