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Treffer: Pattern generation for direct-write three-dimensional nanoscale structures via focused electron beam induced deposition

Titel:
Pattern generation for direct-write three-dimensional nanoscale structures via focused electron beam induced deposition / Lukas Keller, Michael Huth
Beteiligt:
Keller, Lukas (Verfasser); Huth, Michael (Verfasser)
Veröffentlicht in:
Beilstein journal of nanotechnology. - Frankfurt, M. : Beilstein-Institut zur Förderung der Chemischen Wissenschaften, 2010-. - Online-Ressource. - ISSN 2190-4286. - Band 9 (2018), Seite 2581-2598
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Vertrieb:
Frankfurt am Main : Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg
Publikationstyp:
E-Artikel
Sprache:
Englisch
DOI:
10.3762/bjnano.9.240

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